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JJF 1189-2008 测长仪校准规范.pdf
2024-05-05 10:26:30
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中 华 人 民 共 和 国 国 家 计 量 技 术 规 范 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 测 长 仪 校 准 规 范 C a l i b r a t i o n S p e c i f i c a t i o n f o r L e n g t h M e a s u r i n g I n s t r u m e n t 2 0 0 8 - 0 3 - 2 4 发 布 2 0 0 8 - 0 6 - 2 4 实 施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布 市场监管总局 市场监管总局
测 长 仪 校 准 规 范 C a l i b r a t i o n S p e c i f i c a t i o n f o r L e n g t h M e a s u r i n g 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 췍 I n s t r u m e n t J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 代 替 J J G 5 5 — 1 9 8 4 本 规 范 经 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 于 2 0 0 8 年 3 月 2 4 日 批 准 , 并 自 2 0 0 8 年 6 月 2 4 日 起 施 行 。 归 口 单 位 : 全 国 几 何 量 长 度 计 量 技 术 委 员 会 主 要 起 草 单 位 : 江 苏 省 计 量 科 学 研 究 院 中 国 计 量 科 学 研 究 院 本 规 范 委 托 全 国 几 何 量 长 度 计 量 技 术 委 员 会 负 责 解 释 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
本 规 范 主 要 起 草 人 : 吴 学 良 ( 江 苏 省 计 量 科 学 研 究 院 ) 王 晓 飞 ( 江 苏 省 计 量 科 学 研 究 院 ) 王 为 农 ( 中 国 计 量 科 学 研 究 院 ) 参 加 起 草 人 : 胡 清 ( 贵 阳 新 天 光 电 科 技 有 限 公 司 ) J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
目 录 1 范 围 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 2 引 用 文 献 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 3 概 述 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 4 计 量 特 性 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 4 . 1 平 面 测 帽 和 立 式 测 长 仪 固 定 式 工 作 台 的 平 面 度 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … 4 . 2 示 值 变 动 性 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 4 . 3 示 值 误 差 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 4 . 4 测 量 重 复 性 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 4 . 5 内 测 尺 寸 示 值 误 差 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 5 校 准 条 件 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 5 . 1 环 境 条 件 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 5 . 2 主 要 标 准 器 及 配 套 设 备 ( 1 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 校 准 方 法 ( 2 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 . 1 平 面 测 帽 、 固 定 式 工 作 台 的 平 面 度 ( 2 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 . 2 示 值 变 动 性 ( 3 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 . 3 示 值 误 差 ( 3 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 . 4 测 量 重 复 性 ( 4 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 . 5 内 测 尺 寸 示 值 误 差 ( 4 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 7 校 准 结 果 ( 4 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 8 复 校 时 间 间 隔 ( 5 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 附 录 A 测 量 结 果 不 确 定 度 评 定 ( 示 例 ) ( 6 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … 附 录 B 典 型 测 长 仪 主 要 技 术 参 数 ( 8 ) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 附 录 C 示 值 范 围 > 1 1 0 0 m m 时 辅 助 校 准 方 法 ( 9 ) … … … … … … … … … … … … … … … J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
测 长 仪 校 准 规 范 1 范 围 本 规 范 适 用 于 测 长 仪 的 校 准 。 2 引 用 文 献 本 规 范 引 用 下 列 文 献 : J J F 1 0 0 1 — 1 9 9 8 通 用 计 量 术 语 及 定 义 J J F 1 0 5 9 — 1 9 9 9 测 量 不 确 定 度 评 定 与 表 示 J J F 1 0 9 4 — 2 0 0 2 测 量 仪 器 特 性 评 定 使 用 本 校 准 规 范 时 , 应 注 意 使 用 上 述 引 用 文 献 的 现 行 有 效 版 本 。 3 概 述 测 长 仪 是 光 学 机 械 或 光 机 电 相 结 合 的 长 度 计 量 仪 器 , 结 构 型 式 分 为 立 式 测 长 仪 和 卧 式 测 长 仪 。 测 长 仪 由 基 座 、 测 量 座 和 测 量 轴 、 尾 座 、 工 作 台 、 长 度 标 准 器 ( 标 尺 或 光 栅 等 ) 和 读 数 或 显 示 装 置 组 成 。 测 长 仪 采 用 覆 盖 整 个 量 程 的 、 连 续 刻 度 的 长 度 标 准 器 。 测 长 仪 通 过 直 接 测 量 或 比 较 测 量 的 方 法 测 量 量 块 、 量 具 、 光 面 量 规 、 螺 纹 量 规 和 精 密 机 械 零 件 的 长 度 尺 寸 。 4 计 量 特 性 4 . 1 平 面 测 帽 和 立 式 测 长 仪 固 定 式 工 作 台 的 平 面 度 4 . 2 示 值 变 动 性 4 . 2 . 1 使 用 平 面 测 帽 时 的 示 值 变 动 性 4 . 2 . 2 使 用 球 面 测 帽 时 的 示 值 变 动 性 4 . 3 示 值 误 差 4 . 4 测 量 重 复 性 4 . 5 内 测 尺 寸 示 值 误 差 5 校 准 条 件 5 . 1 环 境 条 件 环 境 温 度 一 般 控 制 在 ( 2 0 ± 3 ) ℃ 以 内 , 或 按 照 相 关 技 术 要 求 的 规 定 。 5 . 2 主 要 标 准 器 及 配 套 设 备 ( 见 表 1 ) 1 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
表 1 主 要 标 准 器 及 配 套 设 备 校 准 项 目 标 准 器 名 称 测 量 范 围 准 确 度 等 级 平 面 测 帽 、 固 定 式 工 作 台 的 平 面 度 平 面 平 晶 ϕ 6 0 m m , ϕ 1 0 0 m m 2 级 示 值 变 动 性 标 准 球 量 块 直 径 < 1 0 m m 1 0 m m — — — 示 值 误 差 量 块 激 光 干 涉 仪 系 统 ( 0 ~ 1 0 0 0 ) m m ( 1 ~ 1 0 ) m 2 等 或 3 等 优 于 1 . 1 μ m / m 测 量 重 复 性 量 块 ( 0 ~ 1 0 0 0 ) m m 2 等 或 3 等 内 测 尺 寸 示 值 误 差 环 规 ϕ 1 4 m m , ϕ 3 0 m m , ϕ 5 0 m m U ≤ 0 . 5 μ m , k = 2 6 校 准 方 法 检 查 外 观 , 确 认 没 有 影 响 校 准 计 量 特 性 的 因 素 。 按 照 仪 器 使 用 说 明 书 的 规 定 执 行 仪 器 的 启 动 和 准 备 程 序 。 立 式 测 长 仪 与 卧 式 测 长 仪 的 校 准 方 法 相 同 , 下 文 中 一 般 不 再 单 独 叙 述 立 式 测 长 仪 的 校 准 方 法 , 而 是 把 固 定 式 工 作 台 当 作 一 只 测 帽 来 处 理 。 6 . 1 平 面 测 帽 、 固 定 式 工 作 台 的 平 面 度 平 面 测 帽 、 固 定 式 工 作 台 的 平 面 度 用 平 晶 以 光 波 干 涉 法 测 量 ( 图 1 a ) 。 图 1 光 波 干 涉 原 理 示 意 图 测 量 前 , 平 晶 必 须 至 少 恒 温 1 h 。 把 平 晶 放 在 被 测 表 面 上 , 且 与 被 测 表 面 形 成 一 个 很 小 的 楔 角 θ , 以 单 色 光 源 照 射 。 调 整 平 晶 与 被 测 表 面 间 的 夹 角 , 在 视 场 中 形 成 3 ~ 4 条 干 涉 条 纹 。 如 干 涉 条 纹 平 直 , 相 互 平 行 , 且 分 布 均 匀 , 则 表 示 被 测 表 面 的 平 面 度 很 好 ; 如 干 涉 条 纹 弯 曲 ( 图 1 b ) , 则 表 示 平 面 度 误 差 Δ P 为 : Δ P = ( a / b ) × ( λ / 2 ) ( 1 ) 式 中 : a — — — 干 涉 条 纹 的 弯 曲 值 ; b — — — 两 干 涉 条 纹 间 距 离 ; λ — — — 光 波 波 长 。 在 干 涉 条 纹 呈 圆 形 对 称 的 情 况 下 ( 如 图 2 ) , 估 读 所 观 察 到 的 干 涉 条 纹 数 目 n , 取 干 2 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
涉 条 纹 数 n 与 所 用 光 源 的 半 波 长 λ / 2 之 乘 积 作 为 平 面 度 误 差 。 图 2 圆 形 呈 对 称 干 涉 条 纹 6 . 2 示 值 变 动 性 6 . 2 . 1 使 用 平 面 测 帽 时 的 示 值 变 动 性 平 面 测 帽 的 示 值 变 动 性 用 标 准 球 校 准 , 校 准 前 在 测 量 ( 轴 ) 座 和 尾 座 测 量 杆 安 装 平 面 测 帽 。 带 测 帽 调 整 机 构 的 仪 器 , 可 不 校 准 此 项 目 。 在 两 平 面 测 帽 间 放 置 标 准 球 , 调 整 标 准 球 位 置 , 使 标 准 球 与 平 面 测 帽 测 量 面 的 中 心 位 置 接 触 , 连 续 测 量 3 次 示 值 ; 标 准 球 在 距 离 中 心 位 置 上 下 前 后 各 3 m m 处 , 分 别 测 量 3 次 示 值 ; 每 点 3 个 示 值 取 平 均 值 , 5 个 平 均 值 中 最 大 值 与 最 小 值 之 差 为 平 面 测 帽 的 示 值 变 动 性 。 6 . 2 . 2 使 用 球 面 测 帽 时 的 示 值 变 动 性 带 测 帽 调 整 机 构 的 仪 器 , 可 不 校 准 此 项 目 。 球 面 测 帽 的 示 值 变 动 性 用 1 0 m m 量 块 校 准 , 校 准 前 在 测 量 ( 轴 ) 座 和 尾 座 测 量 杆 安 装 球 面 测 帽 。 示 值 变 动 性 测 量 过 程 如 下 : a ) 在 工 作 台 上 安 装 1 0 m m 量 块 , 使 两 球 面 测 帽 与 量 块 测 量 面 中 心 接 触 , 调 整 工 作 台 找 到 示 值 转 折 点 , 测 量 量 块 3 次 示 值 ; b ) 移 开 测 量 ( 轴 ) 座 , 旋 转 一 个 球 面 测 帽 约 9 0 ° , 再 使 测 帽 与 量 块 测 量 面 中 心 接 触 , 直 接 测 量 量 块 3 次 示 值 ( 不 调 整 工 作 台 ) 。 重 复 步 骤 b ) , 共 测 量 4 组 示 值 。 每 组 3 个 示 值 取 平 均 值 , 4 个 平 均 值 中 最 大 值 与 最 小 值 之 差 为 使 用 球 面 测 帽 时 的 示 值 变 动 性 。 6 . 3 示 值 误 差 示 值 范 围 ≤ 1 1 0 0 m m 的 测 长 仪 , 选 取 5 个 量 块 , 其 最 小 长 度 为 1 0 m m , 最 大 长 度 不 小 于 示 值 范 围 的 9 0 % , 其 余 量 块 的 尺 寸 应 使 校 准 点 间 隔 基 本 均 匀 。 示 值 范 围 > 1 1 0 0 m m 的 测 长 仪 , 需 要 进 行 一 些 辅 助 测 量 , 测 量 方 法 见 附 录 C 。 测 量 ( 轴 ) 座 和 尾 座 测 量 杆 安 装 球 面 测 帽 , 设 置 零 位 。 按 校 准 点 选 取 一 组 量 块 , 将 量 块 分 别 安 装 在 工 作 台 上 , 测 量 量 块 长 度 。 每 块 量 块 测 量 3 次 , 记 录 测 长 仪 示 值 。 各 校 准 点 测 长 仪 示 值 和 量 块 实 际 值 的 最 大 差 值 为 该 校 准 点 示 值 误 差 : Δ i = m a x [ ( L i j - L 0 ) - L s i ] ( 2 ) 式 中 : L i j — — — 测 长 仪 测 量 第 i 个 量 块 的 第 j 次 测 量 的 示 值 ; L 0 — — — 测 长 仪 测 量 零 位 时 的 示 值 ; 3 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
L s i — — — 第 i 个 量 块 的 参 考 值 ; i — — — 量 块 的 序 号 , i = 1 , 2 , … , 5 ; j — — — 测 量 的 序 号 , j = 1 , 2 , 3 。 6 . 4 测 量 重 复 性 分 别 取 5 组 示 值 的 极 差 值 除 以 极 差 系 数 为 该 组 示 值 的 实 验 标 准 差 : s i = R i C ( 3 ) 式 中 : R i — — — 某 校 准 点 3 次 示 值 中 的 极 差 , 即 最 大 值 与 最 小 值 之 差 ; i — — — 示 值 组 的 序 号 , i = 1 , 2 , … , 5 ; C — — — 极 差 系 数 , 3 次 测 量 时 取 C = 1 . 6 9 。 取 合 并 样 本 标 准 差 s p 为 重 复 性 校 准 结 果 : s 2 p ( x i ) = 1 m ∑ m i = 1 s 2 i = 1 5 ∑ 5 i = 1 ( R i / 1 . 6 9 ) 2 ( 4 ) 6 . 5 内 测 尺 寸 示 值 误 差 6 . 5 . 1 使 用 小 测 量 钩 的 内 测 尺 寸 示 值 误 差 按 照 使 用 手 册 规 定 在 测 量 ( 轴 ) 座 和 尾 座 安 装 调 整 小 测 量 钩 。 工 作 台 上 安 装 ϕ 1 4 m m 环 规 。 调 整 工 作 台 找 到 其 示 值 转 折 点 后 读 数 , 重 复 3 次 。 取 下 ϕ 1 4 m m 环 规 , 换 上 ϕ 3 0 m m 环 规 。 调 整 工 作 台 找 到 其 示 值 转 折 点 后 读 数 , 重 复 3 次 。 两 只 环 规 的 示 值 之 差 与 实 际 孔 径 差 的 最 大 值 为 使 用 小 测 量 钩 的 内 测 尺 寸 示 值 误 差 。 即 : Δ m = m a x [ ( d 3 0 i - d 1 4 j ) - ( d 3 0 - d 1 4 ) ] ( 5 ) 式 中 : d 3 0 和 d 1 4 — — — ϕ 3 0 m m 环 规 和 ϕ 1 4 m m 环 规 的 参 考 值 ; d 3 0 i 和 d 1 4 j — — — 使 用 测 长 仪 测 量 ϕ 3 0 m m 环 规 和 ϕ 1 4 m m 环 规 时 获 得 的 示 值 ; i , j — — — 测 量 值 的 序 号 , i , j = 1 , 2 , 3 。 6 . 5 . 2 使 用 大 测 量 钩 的 内 测 尺 寸 示 值 误 差 按 照 使 用 手 册 规 定 在 测 量 ( 轴 ) 座 和 尾 座 安 装 调 整 大 测 量 钩 。 工 作 台 上 安 装 ϕ 3 0 m m 环 规 。 调 整 工 作 台 找 到 其 示 值 转 折 点 后 读 数 , 重 复 3 次 。 取 下 ϕ 3 0 m m 环 规 , 换 上 ϕ 5 0 m m 环 规 。 调 整 工 作 台 找 到 示 值 转 折 点 后 读 数 , 重 复 3 次 。 两 只 环 规 的 示 值 之 差 与 实 际 孔 径 差 的 最 大 值 为 使 用 大 测 量 钩 的 内 测 尺 寸 示 值 误 差 。 即 : Δ M = m a x [ ( d 5 0 i - d 3 0 j ) - ( d 5 0 - d 3 0 ) ] ( 6 ) 式 中 : d 5 0 和 d 3 0 — — — ϕ 5 0 m m 环 规 和 ϕ 3 0 m m 环 规 的 参 考 值 ; d 5 0 i 和 d 3 0 j — — — 使 用 测 长 仪 测 量 ϕ 5 0 m m 环 规 和 ϕ 3 0 m m 环 规 时 获 得 的 示 值 ; i , j — — — 测 量 值 的 序 号 , i , j = 1 , 2 , 3 。 7 校 准 结 果 经 校 准 的 测 长 仪 发 给 校 准 证 书 。 校 准 证 书 应 给 出 各 校 准 项 目 的 测 量 结 果 及 示 值 误 差 4 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
测 量 结 果 的 扩 展 不 确 定 度 。 当 用 户 要 求 时 , 可 以 根 据 用 户 提 供 的 计 量 特 性 最 大 允 许 误 差 进 行 符 合 性 判 定 , 并 将 结 论 列 入 校 准 证 书 。 进 行 符 合 性 判 定 应 考 虑 测 量 结 果 的 扩 展 不 确 定 度 。 8 复 校 时 间 间 隔 在 定 期 进 行 期 间 核 查 的 条 件 下 , 建 议 复 校 时 间 间 隔 为 1 年 。 5 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
附 录 A 测 量 结 果 不 确 定 度 评 定 ( 示 例 ) A . 1 概 述 校 准 测 长 仪 示 值 误 差 时 , 在 测 量 ( 轴 ) 座 和 尾 座 测 量 杆 安 装 球 面 测 帽 , 调 整 达 到 最 佳 测 量 状 态 , 并 设 置 零 位 。 移 动 测 量 ( 轴 ) 座 , 将 相 应 长 度 的 量 块 安 装 在 工 作 台 上 , 使 量 块 工 作 面 中 心 对 准 球 面 测 帽 , 调 整 工 作 台 使 量 块 工 作 面 与 球 面 测 帽 轴 线 相 垂 直 。 从 读 数 装 置 读 出 测 长 仪 示 值 , 测 长 仪 示 值 与 量 块 实 际 值 的 偏 差 为 测 长 仪 示 值 误 差 。 量 块 温 度 引 起 的 长 度 变 化 经 过 修 正 。 A . 2 数 学 模 型 Δ i = ( L i - L 0 ) - L s ( A . 1 ) 式 中 : Δ i — — — 校 准 点 示 值 误 差 ; L i — — — 校 准 点 示 值 ; L 0 — — — 零 点 示 值 ; L s — — — 量 块 在 标 准 条 件 下 的 长 度 。 A . 3 输 入 量 的 不 确 定 度 评 定 A . 3 . 1 重 复 性 u ( L i ) 输 入 量 L i 的 标 准 不 确 定 度 来 源 主 要 是 测 长 仪 的 测 量 重 复 性 , 可 通 过 多 次 测 量 获 得 , 用 A 类 方 法 评 定 。 重 复 性 采 用 现 场 校 准 过 程 中 获 得 的 数 据 。 本 例 中 设 s p = 0 . 0 6 μ m , 则 u ( L i ) = 0 . 0 6 μ m A . 3 . 2 输 入 量 L s 的 标 准 不 确 定 度 u ( L s ) A . 3 . 2 . 1 3 等 量 块 的 扩 展 不 确 定 度 U = 0 . 1 0 μ m + 1 × 1 0 - 6 L s , 量 块 长 度 等 于 1 0 0 m m 时 , U = 0 . 2 μ m , 量 块 证 书 给 出 包 含 因 子 ( k = 2 . 8 ) , 则 u ( L s 1 0 0 ) = U k = 0 . 2 μ m 2 . 8 ≈ 0 . 0 7 μ m A 3 . 2 . 2 3 等 量 块 的 热 膨 胀 系 数 α = ( 1 1 . 5 ± 1 ) × 1 0 - 6 ℃ - 1 , 当 温 度 测 量 有 误 差 时 , 会 引 起 的 标 准 不 确 定 度 u ( L s 2 ) 。 设 温 度 测 量 误 差 不 超 过 Δ t = 0 . 1 ℃ , 服 从 均 匀 分 布 , k = 3 , 则 u ( L s 2 ) = L · Δ t · α / k = ( 1 0 0 × 1 0 3 μ m × 1 1 . 5 × 1 0 - 6 ℃ - 1 × 0 . 1 ℃ ) / 3 ≈ 0 . 0 7 μ m A . 3 . 2 . 3 量 块 的 热 膨 胀 系 数 的 不 确 定 度 , 当 温 度 偏 离 标 准 温 度 2 0 ℃ 时 引 起 的 标 准 不 确 定 度 u ( L s 3 ) 量 块 热 膨 胀 系 数 的 不 确 定 度 在 U α = 1 × 1 0 - 6 ℃ - 1 , 服 从 均 匀 分 布 , 则 包 含 因 子 k = 3 = 1 . 7 3 , 当 温 度 偏 离 标 准 温 度 θ = 1 ℃ 时 : u ( L s 3 ) = L · U α · θ / k = ( 1 0 0 × 1 0 3 μ m × 1 × 1 0 - 6 ℃ - 1 × 1 ℃ ) / 1 . 7 3 = 0 . 0 6 μ m 6 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
A . 4 合 成 标 准 不 确 定 度 A . 4 . 1 灵 敏 系 数 L i 的 灵 敏 系 数 : c 1 = 췍 Δ i / 췍 L i = 1 L 0 的 灵 敏 系 数 : c 2 = 췍 Δ i / 췍 L 0 = - 1 L s 的 灵 敏 系 数 : c 3 = 췍 Δ i / 췍 L s = - 1 A . 4 . 2 标 准 不 确 定 度 汇 总 标 准 不 确 定 度 分 量 u ( x i ) 不 确 定 度 来 源 标 准 不 确 定 度 / μ m u ( L i ) 测 量 的 重 复 性 0 . 0 6 u ( L s ) 量 块 长 度 的 不 确 定 度 0 . 0 7 温 度 测 量 的 不 确 定 度 0 . 0 7 热 膨 胀 系 数 的 不 确 定 度 0 . 0 6 A . 4 . 3 合 成 标 准 不 确 定 度 计 算 以 上 各 量 互 不 相 关 , 故 合 成 标 准 不 确 定 度 为 : u c = 0 . 0 6 2 + 0 . 0 7 2 + 0 . 0 7 2 + 0 . 0 6 2 μ m = 0 . 1 3 μ m A . 5 扩 展 不 确 定 度 取 k = 2 , 则 U = u c · k = 0 . 1 3 μ m × 2 = 0 . 2 6 μ m 7 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
附 录 B 典 型 测 长 仪 主 要 技 术 参 数 表 B . 1 典 型 测 长 仪 主 要 技 术 参 数 序 号 计 量 特 性 技 术 参 数 环 境 条 件 1 平 面 测 帽 、 固 定 式 工 作 台 的 平 面 度 平 面 测 帽 : 0 . 1 5 μ m 工 作 台 : 1 . 0 μ m / 2 示 值 变 动 性 使 用 平 面 测 帽 : 0 . 3 μ m 使 用 球 面 测 帽 : 0 . 2 μ m / 3 示 值 误 差 1 μ m + 5 × 1 0 - 6 L ( 2 0 ± 3 ) ℃ ; 0 . 5 ℃ / h 0 . 5 μ m + 5 × 1 0 - 6 L ( 2 0 ± 1 ) ℃ ; 0 . 5 ℃ / h 0 . 1 5 μ m + 2 × 1 0 - 6 L / 3 ( 2 0 ± 0 . 5 ) ℃ ; 0 . 2 ℃ / h 4 测 量 重 复 性 0 . 1 0 μ m / 5 内 测 尺 寸 示 值 误 差 1 . 5 μ m + 5 × 1 0 - 6 L ( 2 0 ± 3 ) ℃ ; 0 . 5 ℃ / h 0 . 8 μ m + 1 0 × 1 0 - 6 L ( 2 0 ± 1 ) ℃ ; 0 . 5 ℃ / h 0 . 3 μ m + 2 × 1 0 - 6 L / 3 ( 2 0 ± 0 . 5 ) ℃ ; 0 . 2 ℃ / h 注 : L 为 测 量 长 度 8 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
附 录 C 示 值 范 围 > 1 1 0 0 m m 时 辅 助 校 准 方 法 测 长 仪 示 值 范 围 > 1 1 0 0 m m , 还 需 用 激 光 干 涉 仪 系 统 进 行 辅 助 测 量 。 将 激 光 干 涉 仪 系 统 按 使 用 要 求 安 装 在 测 长 仪 上 , 调 整 激 光 干 涉 仪 系 统 , 使 激 光 束 、 参 考 镜 、 测 量 镜 与 测 长 仪 的 测 量 轴 同 轴 。 将 空 气 温 度 、 气 压 、 湿 度 和 测 长 仪 温 度 、 热 膨 胀 系 数 等 参 数 输 入 激 光 干 涉 仪 系 统 。 移 动 测 长 仪 , 使 示 值 处 于 零 位 , 激 光 干 涉 仪 显 示 器 清 零 。 在 测 长 仪 示 值 范 围 内 均 匀 分 布 1 0 个 间 隔 , 读 取 各 点 测 长 仪 和 激 光 干 涉 仪 的 示 值 , 测 量 往 返 进 行 2 次 , 取 平 均 值 。 各 测 量 点 测 长 仪 示 值 与 激 光 干 涉 仪 示 值 之 差 为 测 长 仪 各 校 准 点 的 定 位 误 差 。 测 长 仪 的 定 位 误 差 是 示 值 误 差 的 组 成 部 分 , 校 准 证 书 中 应 给 出 各 校 准 点 的 定 位 误 差 测 量 结 果 。 J J F 1 1 8 9 — 2 0 0 8 市场监管总局 市场监管总局
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